论文部分内容阅读
利用金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子源引出强流Ti离子注入单晶硅，当MEVVA源引出电压为40kV，束流密度达到100μA/cm^2，Ti离子剂量为5×10^17/cm^2,Ti离子注入单晶硅可得到C54-TiSi2的注入层，且薄层电阻低于3．0Ω/□。本文用束流热效应讨论了形成硅化物的机理。
用强流金属离子源研究Ti—Si化合物的形成
【摘 要】
：
利用金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子源引出强流Ti离子注入单晶硅，当MEVVA源引出电压为40kV，束流密度达到100μA/cm^2，Ti离子剂量为5×10^17/cm^2,Ti离子注入单晶硅可得到C54-TiSi2
【机 构】
：
清华大学材料科学与工程系
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1995年3期
其他文献
刘再复的《论人物性格的二重组合原理》一文发表后,我们陆续收到一些作者的讨论文章,本期作了综合报道,以便引起同志们的关注和研究。文艺理论的研究工作如何开拓新的领域,如何联系当前的创作实践进行创造性的探索,一直是编辑部十分关切的一个问题,我们希望刊物能反映这方面的研究成果。
<正> 编辑同志: 在我过去的印象中,《文学评论》是以发表老专家、老教授、名学者撰写的研究文章而著称的,对一般中青年作者写的评论文章却重视不够,他们的文章很难在《文学评论》上发表。许多中青年评论工作者,对《文学评论》望而生畏,敬而远之。今年以来,我感到《文学评论》正在改变作风,对中青年作者的文章开始比较重视了,例如《时代风云和命运纠葛》(第一期)、《老舍——北京市民社会的表现者与批判者》(第二期),就出自中青年作者之手。特别最近一期(第五期),除“书评”和“动态”外,共发表了十三篇论文,其中
发改地区[2017]922号各省、自治区、直辖市发展改革委(区域合作主管部门)、国土资源厅(局)、环境保护厅(局)、商务厅(局)、工商局(市场监管部门)、质监局、统计局,新疆生产建
期刊
近年来随着建筑业产业规模、产业素质的发展和提高，我国建筑技术水平在不断提高，尤其是一些单项技术已跻身世界先进行列。但从整体上看，目前我国建筑技术的水平还比较低，建筑业作
为了加强出口食品生产企业食品安全卫生管理,规范出口食品生产企业备案管理工作,依据《中华人民共和国食品安全法》《中华人民共和国进出口商品检验法》及其实施条例等有关法
期刊
2006年6月28日,商务部发布2006年第44号公告,决定对原产于俄罗斯、韩国、日本和美国的进口环氧氯丙烷实施反倾销措施,实施期限为5年。2011年6月28日,商务部对该反倾销措施进
期刊
为完善我国贸易救济法律制度和改进贸易救济调查实践,我部起草了《反倾销和反补贴调查听证会规则(征求意见稿)》,现向社会公开征求意见。公众可通过以下途径和方式提出反馈意
期刊
一、管理会计从西方引入我国虽然已达二十年之久。但其实际应用情形却不甚理想。总的看来，管理会计的实际应用大体上存在着以下三个主要问题：1．不广泛。迄今为止，管理会计仅在部
<正> 整个越南在沸騰中。从北方到南方,每一条河流都在奔馳,每一座高山都在激蕩,每一个越南人民都在战斗。南方人民的浴血苫战,狠狠地打敗了美国强盗。北方人民抗美救国斗爭的序幕,也胜利地揭开了。他們的枪口,一致向着来自空中和来自海洋的美国野兽,每一顆炮弹,枪弹,都怀着切齿的深仇大恨,向敌人猛烈地射击。人民把打死一个敌人,打下一架飞机,