用球坑技术制备俄歇电子谱仪样品

来源 :陕西师大学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:saxthon
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精确确定表面层随着深度的成分分布是表面分析中的一项重要课题。本文介绍制备样品深度剖面的一种机械方法。用一直径约30mm 的钢球,涂上金刚砂研磨膏,在样品表面上旋转磨出一小球坑。在普通显微镜下观察,可获得表面层深度的形貌信息,用俄歇电子谱仪进行分析,可精确得到表面层成分的深度分布。 Accurately determining the composition of the surface layer with depth is an important issue in surface analysis. This article describes a mechanical method of preparing a sample’s depth profile. With a diameter of about 30mm steel ball, coated with emery paste, the surface of the sample in the rotation of a small ball mill. Observed under a normal microscope, surface morphology can be obtained depth information, with Auger electron spectroscopy analysis can be accurately obtained the depth distribution of the surface layer composition.
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