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应用光散射原理,采用半导体激光器做光源,光纤准直、光电二极管阵列接收信号,A/D模数转换,单片机计算结果的内表面粗糙度测量仪,可无接触测量复杂形状工件的内表面,测量速度快,分辨率高,仪器体积小,且测量精度高.
内表面粗糙度测量仪
【摘 要】
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应用光散射原理,采用半导体激光器做光源,光纤准直、光电二极管阵列接收信号,A/D模数转换,单片机计算结果的内表面粗糙度测量仪,可无接触测量复杂形状工件的内表面,测量速度
【机 构】
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四川大学
【出 处】
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四川大学学报（工程科学版）
【发表日期】
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2004年期
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