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微流器件的制备是液相芯片技术一项重要的相关技术.分别简要地介绍了硅、玻璃和石英基片的机械加工法、光刻和蚀刻法与高分子基片的激光烧蚀法制备微流器件的原理和方法,以及实验结果.
液相芯片微流器件制备方法综论
【摘 要】
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微流器件的制备是液相芯片技术一项重要的相关技术.分别简要地介绍了硅、玻璃和石英基片的机械加工法、光刻和蚀刻法与高分子基片的激光烧蚀法制备微流器件的原理和方法,以及
【机 构】
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浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2005年4期
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