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多晶Si酸制绒刻蚀稳定性对制绒工艺有重要的影响。本文主要研究酸刻蚀量在横向和纵向的不同,结合槽体内部分析液体流向分布对刻蚀稳定性的影响,强调设备结构设计对工艺稳定性影响的重要性。
多晶Si酸制绒刻蚀稳定性的研究
【摘 要】
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多晶Si酸制绒刻蚀稳定性对制绒工艺有重要的影响。本文主要研究酸刻蚀量在横向和纵向的不同,结合槽体内部分析液体流向分布对刻蚀稳定性的影响,强调设备结构设计对工艺稳定性
【机 构】
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山西潞安太阳能科技有限责任公司
【出 处】
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光电子
【发表日期】
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2014年1期
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