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射频磁控溅射法制备薄膜电池电极及计算机模拟研究
射频磁控溅射法制备薄膜电池电极及计算机模拟研究
来源 :信息技术与信息化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baobeicucu
【摘 要】
:
本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法.研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法。
【作 者】
:
吕敬
廖波
陈宜升
段恋华
【机 构】
:
北京理工大学信息科学技术学院电子系微电子实验室
【出 处】
:
信息技术与信息化
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
计算机模拟
射频磁控溅射
薄膜电池
Computer simulation
RFMS
Thin film battery
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本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法.研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法。
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