论文部分内容阅读
本论文包含三项研究： 一、极紫外光(extreme ultraviolet)微影系统： 1.设计以40层钼/硅为基材之光子晶体(photonic crystal)反射面镜，从数值计算得知，此面镜大幅提升对极紫外光之反射率，并能承受更高之照射温度与能量。
论文名称：次世代微影术及其非破坏式光学量测系统之研究
【摘 要】
：
本论文包含三项研究： 一、极紫外光(extreme ultraviolet)微影系统： 1.设计以40层钼/硅为基材之光子晶体(photonic crystal)反射面镜，从数值计算得知，此面镜大幅提升对极紫
【出 处】
：
金属加工（冷加工）
【发表日期】
：
2015年10期
其他文献
格里姆瑟尔湖是奥伯哈斯里水电站（简称KWO）的五大水库之一，它生产的电力供120万名居民使用。水电市场已经分流，特别是近年来电力市场正在发生变化。位于因纳特基兴的GrimselHydro
期刊
目的：探讨护理干预对老年原发性高血压病人在治疗效果中的作用。方法回顾我院2010年来老年原发性高血压病人30例的护理干预。结果在使用降压药的同时给予用药干预、生活干预、
目的：探讨将循证护理在耳鼻喉科临床护理教学查房中的初步应用效果。方法于2013年10月面向在我科实习及见习的护理专业学生，按循证护理方法进行耳鼻喉科临床护理教学查房。结果
肾上腺手术在硬膜外麻醉下进行时常有病人主诉肩部、颈部疼痛,有时这种牵涉痛使病人疼痛难忍.本研究旨在观察颈深丛阻滞防止此种牵涉痛的效果,兹将研究结果报告如下.
近几年康复护理的理论研究和临床实践告诉我们，康复护理学在现代医学中的作用日益显露，也越来越受重视，开展康复护理的教育和临床实践是中国护理事业发展规划纲要提出的具体要求
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
微热管、微通道换热器等微尺度热质输运器件是解决高热流密度器件散热难题的理想选择，在电子、航天、能源等多个领域广泛应用。如何实现其关键的热质输运结构的优化设计、高效
期刊