【摘 要】
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有机互补反相器是未来柔性电子产品的核心元件。为了制备超薄、高质量的柔性栅介质层,以实现器件低电压和高稳定性工作。首先通过旋涂法制备聚合物黏附层,再采用磁控溅射制备
【机 构】
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苏州大学功能纳米与软物质研究院,苏州大学物理与光电·,能源学部
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研基金资助项目（20133201120025,20133201120027）, 国家自然科学基金资助项目（61675143,61505132,11661131002）
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有机互补反相器是未来柔性电子产品的核心元件。为了制备超薄、高质量的柔性栅介质层,以实现器件低电压和高稳定性工作。首先通过旋涂法制备聚合物黏附层,再采用磁控溅射制备超薄的氧化物薄膜,并利用聚合物对氧化物薄膜进行修饰进而获得高质量的杂化绝缘层。超薄的栅介质层和良好的绝缘性能保证了反相器可以在2.5V电压下工作,电压增益达到40,输入-输出曲线无回滞,且器件可以稳定工作300次以上。此外,采用该方法制备的杂化绝缘层具有良好的耐弯折性能,制备的柔性有机场效应晶体管在弯折100次之后仍可正常工作。器件良好的电学性能
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