【摘 要】
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提出一种硅基底微机械 F- P腔结构 ,通过作为上反射镜的弹性膜的移动改变 F- P腔的腔长 ,从而实现调谐的目的 .利用有限元软件对其不同参数下的力学性能、电场耦合特性进行了
【机 构】
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北京理工大学光电工程系,北京理工大学光电工程系,北京理工大学光电工程系,北京理工大学光电工程系 北京100081,北京100081,北京100081,北京100081
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提出一种硅基底微机械 F- P腔结构 ,通过作为上反射镜的弹性膜的移动改变 F- P腔的腔长 ,从而实现调谐的目的 .利用有限元软件对其不同参数下的力学性能、电场耦合特性进行了有限元的计算机模拟与分析 .从分析结果可知 ,弹性膜在所要求的工作范围内有足够的强度承受外加电压所产生的电场力的作用 ,而且弹性膜移动时仍然能够与下反射镜保持平行 ,从而保证了 F- P腔的平行度 ,保证其作为滤波器或衰减器时的工作精度 ,为硅微机械 F- P腔器件的设计提供了有效参数依据
A silicon substrate micro-mechanical F-P cavity structure is proposed, which can be tuned by changing the cavity length of the F-P cavity by the movement of the elastic film acting as an upper mirror. The mechanical properties under different parameters , The electric field coupling characteristics of the finite element computer simulation and analysis from the analysis results show that the elastic membrane in the required range of work have sufficient strength to withstand the applied voltage generated by the force of the electric field and the elastic membrane can still move Keeping parallel with the lower reflector to ensure the parallelism of the F-P cavity and ensure its working precision as a filter or attenuator, thus providing an effective parameter for the design of the silicon micro-mechanical F-P cavity device
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