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本文研究了溶胶」－凝胶法制备ＴｉＯ２／ＳｉＯ２复合薄膜的晶化行为以及复合薄膜与过渡层的相界扩散。采用Ｘ－ｒａｙ衍射分析了５０ＴｉＯ２／５０ＳｉＯ２薄膜中ＴｉＯ２的析晶特征，研究表明，随热处理温度的升高，薄膜的结构由非晶转变为ＳｉＯ２玻璃网络中析出的锐矿相，再到锐钛矿和金红石二相共存，最后转变为红金石相，并伴随有磷石英和方石英的析出，且共晶粒尺寸也在逐渐增大。ＡＥＳ分析给出了过滤层的气孔率对复合膜中