光电控制间歇运动衍射光栅机控制系统的改造升级

• 作 者: 王炜 杨厚民
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械研究所
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 1996年5期
• 关键词: 衍射光栅 刻划机 分度 程控放大 细分 调速

在分析了光电控制间歇运动衍射光栅刻划机（原刻划机）的基础上，针对原刻划机存在的不足，提出了相应的改进措施。据此设计构成了以单片机８０３１为核心的数控系统的硬件，实现了对分度信号的程控放大和幅值细分，提高了刻划机的分辨率；另外，用软件实现了直流力矩马达的分级调速，提高了刻划机的刻划精度。实验结果表明，改进后的刻划机分度重复性明显优于０．０５μｍ。