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由于精密金属零件表面洁净度要求很高,目前一般采用ODS溶剂清洗.介绍了一种非ODS清洗技术,并利用X射线光电子谱等测试方法,分别比较用两种清洗技术清洗过的金属零件表面,结果表明新型清洗技术优于传统ODS清洗技术.
精密金属零件非ODS清洗技术研究
【摘 要】
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由于精密金属零件表面洁净度要求很高,目前一般采用ODS溶剂清洗.介绍了一种非ODS清洗技术,并利用X射线光电子谱等测试方法,分别比较用两种清洗技术清洗过的金属零件表面,结果
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院,石家庄宝石电子集团元件厂
【出 处】
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山东大学学报(理学版)
【发表日期】
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2004年3期
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