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超精密工作台伺服系统因其存在参数时变、负载扰动以及非线性等特点，很难为其建立准确的模型。模糊（fuzzy）控制具有无需建立被控对象的数学模型、鲁棒性好等优点，但稳态精度差。将模糊控制和PID控制相结合，综合了模糊控制和PID控制的优点，克服了各自的缺点。通过Matlab建模、仿真及与PID控制的比较表明，模糊PID控制的动静态特性优于传统单一的PID控制。