【摘 要】
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综述了纳米多孔性聚合物基低介电常数材料研究工作的基本情况。着重介绍了以聚酰亚胺、聚硅氧烷和环氧树脂为基体的纳米多孔低介电常数材料的研究进展,并对研究前景做了展望
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综述了纳米多孔性聚合物基低介电常数材料研究工作的基本情况。着重介绍了以聚酰亚胺、聚硅氧烷和环氧树脂为基体的纳米多孔低介电常数材料的研究进展,并对研究前景做了展望。
In this paper, the basic situation of research on low molecular weight polymer based nanoporous materials is reviewed. The research progress of nanoporous low dielectric constant materials based on polyimide, polysiloxane and epoxy resin is emphatically introduced, and the prospect of the research is prospected.
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