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【摘 要】
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本文在建立单轴应变Si n型金属氧化物半导体场效应晶体管迁移率模型和阈值电压模型的基础上，基于器件不同的工作区域，从基本的漂移扩散方程出发，分别建立了单轴应变Si NMOSFET源
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院、宽禁带半导体材料与器件重点实验室,北京精密机电控制设备研究所,北京信息科技大学理学院
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2015年19期
【基金项目】
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教育部博士点基金（批准号：JY0300122503）和中央高校基本业务费（批准号：K5051225014,K5051225004）资助的课题
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