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介绍了真空镀膜设备中高压离子轰击源的电路构成以及在“离子清洗”工艺过程和“离子聚合”工艺过程的工作原理，同时论述了对于过流现象所采取的一些软，硬件保护措施。
高压离子轰击源控制与保护研究
【摘 要】
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介绍了真空镀膜设备中高压离子轰击源的电路构成以及在“离子清洗”工艺过程和“离子聚合”工艺过程的工作原理，同时论述了对于过流现象所采取的一些软，硬件保护措施。
【机 构】
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兰州铁道学院自动控制研究所
【出 处】
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兰州铁道学院学报
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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甘肃省“九五”科技攻关计划项目
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