高压离子轰击源控制与保护研究

来源 :兰州铁道学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asdf303
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介绍了真空镀膜设备中高压离子轰击源的电路构成以及在“离子清洗”工艺过程和“离子聚合”工艺过程的工作原理,同时论述了对于过流现象所采取的一些软,硬件保护措施。
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