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超声马达有许多优异的性能,并且正在逐步走向实用化.然而,超声马达的速度控制特性具有高度非线性且随工作状态而变化,所以,精确的速度控制对于超声马达非常困难.本文提出了一种新的利用人工神经网络的超声马达速度控制方法,通过制作压电陶瓷外径为100 mm 的大尺寸、大扭矩压电行波超声马达样机并对其进行试验,试验证明:应用该方法具有很好的速度控制效果.