【摘 要】
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本文利用扫描电声显微术（ＳＥＡＭ）对Ｓｉ３Ｎ４陶瓷和３０ｖｏｌ％ＳｉＣ（ｗ）／ＺｒＳｉＯ４复相陶瓷中由维氏压痕引起的残余应力分布进行了电声显微像观察。比较了原位获得的二次电子像和电声像，表明电声像能够揭示样品的表面和亚表面
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室
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本文利用扫描电声显微术（ＳＥＡＭ）对Ｓｉ３Ｎ４陶瓷和３０ｖｏｌ％ＳｉＣ（ｗ）／ＺｒＳｉＯ４复相陶瓷中由维氏压痕引起的残余应力分布进行了电声显微像观察。比较了原位获得的二次电子像和电声像，表明电声像能够揭示样品的表面和亚表面的残余应力场分布。实验结果证实在陶瓷材料中由维氏压痕所引起的残余应力场是呈弹－塑性交替分布的区域，在维氏压痕的中心以及由压痕引起的裂纹对角线的端点是应力分布的集中区，同时显示ＳＥＡＭ技术在对陶瓷材料中残余应力场分布的研究中是一种有力的工具。
In this paper, the scanning electron microscopy (SEAM) was used to observe the residual stress distribution caused by Vickers indentation in Si3N4 ceramics and 30vol% SiC (w) / ZrSiO4 composite ceramics. Comparing the secondary electron images and the electro-acoustic images obtained in-situ shows that the electro-acoustic imaging can reveal the residual stress field distribution on the surface and subsurface of the sample. The experimental results confirm that the residual stress field induced by Vickers indentation in ceramic material is a region with alternating elastic-plastic distribution. The stress distribution at the center of the Vickers indentation and at the end of the diagonal of the crack caused by the indentation The concentration zone also shows that SEAM technology is a powerful tool in the study of the distribution of residual stress field in ceramic materials.
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