粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析

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本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发,对里周期性变化的细分误差作了详细的理论分析,并得到了实验的验证.同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法,为进一步研制高精度数显系统打下基础。 Based on the principle of the coarse line grating displacement measurement system, this paper makes a detailed theoretical analysis of the subdivision error of periodic change, and obtains the experimental verification. At the same time, the method of eliminating subdivision error from hardware and software is put forward, which lays the foundation for further developing high precision digital display system.
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