【摘 要】
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本文用根轨迹法和尼柯尔斯图法对超高真空扫描隧道显微镜的控制系统进行了分析研究，结果表明，在控制系统中加入积分环节和单极低通滤波环节以后，大大地改善了ＵＨＶ－ＳＴＭ系统的性能，在压电陶
【机 构】
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东北大学,中国科学院北京真空物理实验室
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本文用根轨迹法和尼柯尔斯图法对超高真空扫描隧道显微镜的控制系统进行了分析研究，结果表明，在控制系统中加入积分环节和单极低通滤波环节以后，大大地改善了ＵＨＶ－ＳＴＭ系统的性能，在压电陶瓷的机械共振频率附近，获得了比较满意的控制特性
In this paper, the root locus and Nicols plot of the ultra-high vacuum scanning tunneling microscope control system was analyzed and studied, the results show that the control system to integrate the integral link and the monopulse low-pass filter, the greatly improved The performance of UHV-STM system, in the vicinity of the mechanical resonance frequency of piezoelectric ceramics, obtained more satisfactory control characteristics
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