脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:happig101
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利用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上制备SnS薄膜,研究了SnS薄膜的晶体结构、表面形貌以及有关光学特性。所制备的SnS薄膜样品为斜方晶系多晶结构,在(111)晶面上有很强的择优取向性;衬底温度在100~400℃范围内,表面形貌有所区别,随着温度升高,薄膜表面分别呈现大小晶粒共存、片状颗粒、针状颗粒和锥状颗粒的形貌特征;紫外区的SnS薄膜透过率极低,可见光范围的透过率很低,近红外区的透过率较大;样品在可见区和紫外区吸收强烈,吸收系数达105cm-1量级,直接禁带宽度为1.39~1.46 eV。 SnS thin films were prepared on glass substrate by pulsed laser deposition. The crystal structure, surface morphology and optical properties of SnS thin films were investigated. The prepared SnS thin film samples are orthorhombic polycrystalline structure with a strong preferred orientation on the (111) crystal plane. The surface morphology of the SnS thin films is different from that of the substrate in the range of 100-400 ℃. With the increase of temperature, the surface of the film presents the coexistence of large and small grains, flaky grains, acicular grains and conical grains, respectively. The transmittance of SnS thin film in UV is very low and the transmittance in the visible range is very low. The transmittance of the infrared region is relatively large. The sample absorbs strongly in the visible region and the ultraviolet region, the absorption coefficient reaches the order of 105 cm-1, and the direct band gap is 1.39-1.46 eV.
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