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OWL-S是一种面向领域本体的语义Web服务组合描述语言,也是一种可自动机器解释的语义标记语言,同时实现了Web服务功能和服务间互操作、互调用、互协作的语义化描述,是目前最重要的服务组合标准之一。提出了一种基于非马尔科夫随机PETRI网（NMSPN）的概率模型,对OWL-S描述的Web服务的控制流进行了建模和描述,并在NMSPN流程模型基础上建立了一系列的概率分析方法,实现了对语义Web服务的量化可信性的分析。