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采用飞秒激光螺旋制孔方式加工AlN陶瓷跑道孔,分析了进给量对跑道孔加工形貌、尺寸及效率的影响.在确保加工质量的前提下,以提高制孔效率为目标优化工艺参数,制孔时间可缩短约80％,跑道孔锥度仅增大约2°;对跑道孔壁进行了元素含量测试,结果表明A lN陶瓷在加工区域发生了氧化反应.
AlN陶瓷的飞秒激光螺旋制孔研究
【摘 要】
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采用飞秒激光螺旋制孔方式加工AlN陶瓷跑道孔,分析了进给量对跑道孔加工形貌、尺寸及效率的影响.在确保加工质量的前提下,以提高制孔效率为目标优化工艺参数,制孔时间可缩短约80％,跑道孔锥度仅增大约2°;对跑道孔壁进行了元素含量测试,结果表明A lN陶瓷在加工区域发生了氧化反应.
【机 构】
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松山湖材料实验室,广东 东莞 523808
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2021年6期
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