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提出了一种制作128×128球冠型GaAs凹折射微透镜阵列新的方法&&曲率倒易法.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹球冠面阵列,表面探针测试结果显示阵列表面光滑、单元重复性好,其凹深为1.268 μm,焦距为-352.04 μm.
128×128凹型GaAs微透镜阵列器件的制作研究
【摘 要】
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提出了一种制作128×128球冠型GaAs凹折射微透镜阵列新的方法&&曲率倒易法.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹球冠面阵列,表面探针测试结果显示阵列表面
【机 构】
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The State Key Laboratory of Laser Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 4
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2001年6期
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