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【摘 要】
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利用脉冲多弧离子镀技术在硅基底上沉积出非晶的类金刚石薄膜，薄膜的折射率为２．８左右；沉积速率与主回路电压以及脉冲频率有关；膜层致密，但薄膜表面不光滑；薄膜电阻率接近１×１０＾１０Ω
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所,西安工业学院仪器系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年2期
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