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通过OM，TEM等对航空用近α高温钛合金Ti600试样蠕变前后的显微组织进行了观察研究，结果发现：随着蠕变条件的不同，硅化物粒子（Ti5Si3)和α2（Ti3Al)粒子有着不同程度的析出，而且合金的残留β相及次生α相也有相应的变化。在蠕变过程中，α3粒子的析出阻碍位错移动，强化了合金基体。稀土氧化物粒子（Y2O3）在蠕变前后比较稳定，其形貌和大小没有多大变化，粒子平均直径为0．6μm。还研究了600～650℃之间的蠕变试样，通过TEM观察得知，在650℃／150MTa/100h试验条件下，Ti600合金的