【摘 要】
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应用红外技术为半导体器件生产服务,这已是国内外早已开展的工作,红外电视显微镜是其中一个很重要的组成部分。它的结构简单,操作方便,用途广泛,观察结果直观可靠,以及部分
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应用红外技术为半导体器件生产服务,这已是国内外早已开展的工作,红外电视显微镜是其中一个很重要的组成部分。它的结构简单,操作方便,用途广泛,观察结果直观可靠,以及部分快速无损检测等优点,为研究解决半导体器件材料各种缺陷和质量问题,提供了极方便的条件和不可缺少的检测分析手段。
Application of infrared technology for the production of semiconductor devices, which is already work already done at home and abroad, infrared television microscope is one of the most important components. Its structure is simple, easy to operate, versatile, intuitive and reliable observation, as well as some of the advantages of rapid non-destructive testing, in order to study and solve various defects and quality problems of semiconductor device materials, provides a very convenient conditions and indispensable detection and analysis tools .
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