【摘 要】
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The structural and electrical properties of ZnO films deposited by reactive radiofrequency sputtering with a metallic zinc target are systematically investigate
【机 构】
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Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871“,”Shenzhen Graduate School, Peking
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The structural and electrical properties of ZnO films deposited by reactive radiofrequency sputtering with a metallic zinc target are systematically investigated.While the as-deposited ZnO film is in a poly-crystalline structure when the partial pressure of oxygen (pO2 ) is low,the grain size abruptly decreases to a few nanometers as pO2 increases to a critical value,and then becomes almost unchanged with a further increase in pO2.In addition,the resistivity of the ZnO films shows a non-monotonic dependence on pO2,including an abrupt transition of about seven orders of magnitude at the critical pO2.Thin-film transistors (TFTs) with the nanocrystalline ZnO films as channel layers have an on/off current ratio of more than 10 7,an off-current in the order of pA,a threshold voltage of about 4.5 V,and a carrier mobility of about 2 cm2/(V.s).The results show that radiofrequency sputtered ZnO with a zinc target is a promising candidate for high-performance ZnO TFTs.
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