微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列

• 作 者: 程文娟 张阳 江锦春 朱鹤孙
• 机 构: 清华大学化学系,清华大学化学系
• 出 处: 人工晶体学报
• 发表日期: 2004年4期
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 制备 SiCN结晶膜 SiCN微米棒 CH4 H2 N2 氰化硅 甲烷 氢气 氮气 silicon carbon nitride mi

本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列.样品的形貌由场发射扫描电子显微镜(SEM)表征分析.用X射线光电子谱(XPS)、Raman散射谱及X射线衍射(XRD)对样品的键合状态及结构进行表征,结果表明,所得到的SiCN薄膜是一具有新的六方结构的三元化合物.