【摘 要】
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研究了基于AlGaN/GaN异质结材料的肖特基二极管气体传感器对于体积分数为2×10-4～10-3的CO气体的响应状况。在2V正向偏压下,器件对于低至体积分数2×10-4的CO仍表现出
【机 构】
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中国科学院半导体研究所材料中心,中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,中国科学院半导体研究所西安交通大学信息功能材料与器件联合实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(60576046,60606002,613270805),国家“973”重点基础研究项目(2006CB604905),中国科学院知识创新工程(YYYJ-0701-02)
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研究了基于AlGaN/GaN异质结材料的肖特基二极管气体传感器对于体积分数为2×10-4～10-3的CO气体的响应状况。在2V正向偏压下,器件对于低至体积分数2×10-4的CO仍表现出了明显的响应(电流增大0.7mA),随着CO体积分数的升高,器件的电流变化愈加明显,但在反向偏压下,通入CO气体对器件的电流大小无明显影响。对器件在不同体积分数CO下的灵敏度与外加偏压的关系也进行了研究,在正向偏压下,器件的灵敏度随着CO体积分数的升高而增大。当CO气体撤消时,器件表现出了迅速的恢复性能,
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