【摘 要】
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采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率（MRR）和表面粗糙度（Sa）为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价。结果表明：固结磨料抛
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.50905086);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目资助(NS2010127)
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采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率（MRR）和表面粗糙度（Sa）为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价。结果表明：固结磨料抛光垫研磨硅片的材料去除率高于金刚石丸片;研磨后硅片的表面粗糙度也优于金刚石丸片,且表面粗糙度（Sa）在中部和边缘相差不大。最后分析了研磨硅片的产物-磨屑的形状特征,得出固结磨料抛光垫研磨硅片时的塑性去除量远高于金刚石丸片。
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