【摘 要】
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基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术，应用于光学掩模设计，可制作逼近临界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片．波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命，其前景
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基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术，应用于光学掩模设计，可制作逼近临界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片．波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命，其前景十分引人瞩目．
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