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研究用气敏(氢敏)色谱仪分析硅烷和磷烷的方法，获得了成功的结果。分析硅烷和磷烷的最小检检测量分别为0．06ppm和0．13ppm。用注射进样结合稀释法测得硅烷和磷烷的相对标准偏差分别为±2．96％和±3.78％。
气敏色谱法分析硅烷和磷烷
【摘 要】
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研究用气敏(氢敏)色谱仪分析硅烷和磷烷的方法，获得了成功的结果。分析硅烷和磷烷的最小检检测量分别为0．06ppm和0．13ppm。用注射进样结合稀释法测得硅烷和磷烷的相对标准偏差分
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1988年1期
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