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针对国内多晶硅生产副产物四氯化硅的消化处理，通过对多晶硅生产尾气冷凝液主要成分三氯氢硅和四氯化硅等组分和杂质的含量分析，提出了利用多晶硅生产副产物四氯化硅合成高纯石英玻璃的方法及其工艺条件．通过分析四氯化硅合成高纯石英玻璃的影响因素，针对性地提出了生产控制方法．对高纯石英玻璃材料的理化性能及应用进行了探讨，为多晶硅行业资源综合利用及增效减排，提供了切实可行的途径．