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本文介绍了基于电荷测量原理的ＴＦＴ矩阵自动检测系统，该系统可以对ＴＦＴ矩阵进行多参数的检测，并可用来统计矩阵的成品率及分析ＴＦＴ的动态特性。
TFT矩阵动态检测系统
【摘 要】
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本文介绍了基于电荷测量原理的ＴＦＴ矩阵自动检测系统，该系统可以对ＴＦＴ矩阵进行多参数的检测，并可用来统计矩阵的成品率及分析ＴＦＴ的动态特性。
【机 构】
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中山大学电子机械研究中心
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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1997年1期
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