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微电子器件可靠性研究与展望
微电子器件可靠性研究与展望
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wondercn
【摘 要】
:
本文扼要介绍了近5年来我国在微电子器件(半导体分立器件及集成电路)可靠性研究方面所取得的进展与成果及存在的问题。预计今后5~10年内,我国微电子器件可靠性研究工作将在5个方面展开
【作 者】
:
王长河
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1995年03期
【关键词】
:
可靠性
失效模式
失效机理
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本文扼要介绍了近5年来我国在微电子器件(半导体分立器件及集成电路)可靠性研究方面所取得的进展与成果及存在的问题。预计今后5~10年内,我国微电子器件可靠性研究工作将在5个方面展开,器件可靠性水平将提高1~2个数量级。
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