【摘 要】
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随着电子工业的发展,半导体的分析检测工作应用了愈来愈多的仪器分析方法。红外光谱法操作简便,不破坏样品,使它在半导体分析上的应用日趋广泛。随着红外光谱仪器的改进,其
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随着电子工业的发展,半导体的分析检测工作应用了愈来愈多的仪器分析方法。红外光谱法操作简便,不破坏样品,使它在半导体分析上的应用日趋广泛。随着红外光谱仪器的改进,其单色器由光栅代替了稜镜,大大地提高丁仪器的分辨力。近年来,还出
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