【摘 要】
：
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所新材料中心,中国科学院传感技术国家重点实验室,
论文部分内容阅读
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂梁宽度的微机械横向谐振器件,经实验检测它们的谐振频率分别为64.5,147.2,255.5kHz,与模拟结果符合得很好.该结果显示由于具有很高的杨式模量,利用多晶3C-SiC材料体系制作的谐振器件能够具有更高的谐振频率.
A microelectromechanical design and fabrication method of an electrostatic driven folding cantilever beam resonator are introduced.A combination of Rayleigh analysis and finite element analysis is used to analyze the influence of device size and material parameters on the performance of the device.There are three different The experimental results show that the resonant frequencies of these devices are 64.5, 147.2 and 255.5 kHz, respectively, which are in good agreement with the simulation results.The results show that due to the high Young modulus, the polycrystalline 3C- Resonant devices made of SiC material systems can have higher resonant frequencies.
其他文献
在距大阪海岸3英里的大阪海湾,35艘工作船在昼夜不停地打桩填石。两年后,一座长2.5英里、宽0.5英里的人工岛就要在那里出现。岛上将建造全日本第一座24小时开放的国际机场,
发生在一百年前的辛亥革命,是一段伟大的历史,站在历史的节点上,将它还原到一百年前,再现这场伟大的革命,是完成文献纪录片创作的主旨。历史悠久的中国,从来没有哪一个百年,
本文着重从寻求一节好课的标准出发,利用学生对课的参与程度去衡量一节课,重点从教学模式的改变,突显学生的兴趣、爱好,丰富教学内容等方面阐述了本人对学生体育课参与度的肯
适逢中国共产党成立90周年,2011年从重庆开始的“红歌”浪潮席卷全国。大小舞台上,雄壮的合唱一浪高过一浪,现代社会日益淡漠、疏离的人际关系,终于以集体的名义,在这一特定
随着技术的发展,跨区域联网不停车收费对联网收费数据在其每个层面的产生、存储、传输、处理和管理的安全性提出了更高的要求,文章讨论了在区域联网不停车收费系统中,如何基
刘沂与陈思结婚一年了，但刘沂总觉得美满的生活中似乎还存在着不和谐的音符。“我给陈思一个拥抱或热吻的时候，她总是认为这是我对她提出性要求的表示，赶紧不冷不热地闪开。其实
很多老年朋友都把锻炼时间安排在早晨。然而，从保健角度上讲，老年人晨练时还必须注意到以下几个方面的保健问题。１、不宜起得太早。老年人体温调节功能差，难以适应清晨室内外的温
有的人品行端正,忠于配偶和家庭,却被爱人无端怀疑有外遇,怎么解释爱人也不相信,这是怎么回事呢?具体问题得具体分析,根据不同情况分属心理障碍的不同类型,具体地由轻到重分
一 记得有这样一句歌词：我的青春小鸟一去不回来。岁月飞逝，青春是如此充满活力，但又如此短暂，更是如此宝贵。无怨无悔的青春才能让人生激起浪花、绽放光芒。那么，什么样的青春才是无悔的呢?当眉清目秀的帅哥杨辉站在2009年全国智力运动会冠军的领奖台上，他感觉已经让自己的青春无怨无悔了。 1987年12月9日，杨辉出生于四川省雅安市天全县一户普通人家，他的父母都不会下棋。他有一个大哥，长他三岁，199
如果觉得寒冷的天气已经不再适合户外运动了,那不妨把运动的地点挪到健身房里去吧!健身房里不但有专业的健身器具,还有专业的健身教练指导你的瘦身计划。Fashion的花样瘦身会