压电陶瓷微位移作动器机械特性的研究及改进

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本文对应用于误差补偿的压电微位移作动器,从机械结构的角度分析了其静动态特性,指出了其缺点,给出了结构设计基本原则,并设计出一种静动态特性均有改善的微位移作动器结构。 In this paper, the piezoelectric microdisplacement actuator used in error compensation is analyzed from the perspective of mechanical structure, its shortcomings are pointed out, the basic principles of structural design are given, and a static and dynamic characteristic Improved micro-displacement actuator structure.
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