【摘 要】
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由中国真空学会薄膜专业委员会主办 ,并由中国电子学会半导体与技术学会、电子材料学会、量子电子学与光电子学学会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国物理学会表面与界面科
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由中国真空学会薄膜专业委员会主办 ,并由中国电子学会半导体与技术学会、电子材料学会、量子电子学与光电子学学会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国物理学会表面与界面科学学会、中国机械工程学会气相沉积技术委员会、表面工程技术委员会、中国材料研究会、中国仪器仪表学
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