【摘 要】
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研制了N－／P+异型、高祖、厚层硅外延材料，并对厚层外延及高用异型外延中出现的问题进行了讨论，提出了提高外延材料质量的方法。
The N- / P + shaped, ancestral and thick sili
【机 构】
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研制了N－／P+异型、高祖、厚层硅外延材料，并对厚层外延及高用异型外延中出现的问题进行了讨论，提出了提高外延材料质量的方法。
The N- / P + shaped, ancestral and thick silicon epitaxial materials have been developed. The problems in the thick epitaxial layers and the high-profile shaped epitaxies have also been discussed. The methods to improve the quality of the epitaxial materials have been put forward.
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