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脉冲ArF准分子激光淀积SiC/Si(100)薄膜的最佳晶化温度及光致发光
脉冲ArF准分子激光淀积SiC/Si(100)薄膜的最佳晶化温度及光致发光
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eddiew
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
王玉霞
曹颖
何海平
汤洪高
王连卫
黄继颇
林成鲁
【机 构】
:
中国科技大学材料科学与工程系,中国科学院上海冶金研究所,;
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2001年10期
【关键词】
:
激光淀积
SiC薄膜
晶化
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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