激光衍射微细线径测量仪的研究

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本文根据激光衍射理论,研究了用衍射方法测量微细线径的测量系统。在在信号处理方面采用相干性极好的He-Ne激光器,高分辩率CCD图像传感器和8031单片机系统,使测量精度比较接近于理论精度。
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