重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体载流子浓度的光测法研究

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本文应用计算机,绘出各类重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体在不同等离子频率ω_p下的反射率曲线,从中找出了反射谱的高低频反射边在反射率极小值处所对应的频率ω_1与ω_2之和与ω_p间的函数关系.并应用此关系对不同载流子浓度的重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体GaAs和Inp样品进行实验上的验证,获得了满意的结果. In this paper, the reflectivity curves of various heavily doped Group III-V compound semiconductors at different plasma frequencies ω_p are plotted by computer, and the frequency ω_1 at the minimum reflectivity of the reflected spectrum is found ω_2 and ω_p, and the relationships between these samples and GaAs and Inp samples of heavily doped Group III-V compound semiconductors with different carrier concentration were experimentally verified, and satisfactory results were obtained.
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