【摘 要】
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以（MeCp）Pt（CH3）3和O2为反应源,采用原子层淀积（ALD）技术在A12O3衬底上制备Pt纳米颗粒,研究了在氮气中快速热退火对Pt纳米颗粒的特性的影响。结果表明,随着退火温度从700℃升高到90
【机 构】
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专用集成电路与系统国家重点实验室复旦大学微电子研究院,
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以（MeCp）Pt（CH3）3和O2为反应源,采用原子层淀积（ALD）技术在A12O3衬底上制备Pt纳米颗粒,研究了在氮气中快速热退火对Pt纳米颗粒的特性的影响。结果表明,随着退火温度从700℃升高到900℃,Pt纳米颗粒尺寸逐渐增大,颗粒之间分离愈加清晰,形貌趋向球形,但颗粒密度稍有降低。随着在800℃退火时间从15 s增加到60 s,Pt纳米颗粒的尺寸逐渐增大,尺寸分布变得更加弥散,颗粒的密度逐渐降低;其中退火15 s后的Pt纳米颗粒密度高（9.29×10★cm-2）、分布均匀、分离清晰。900℃退火后在Pt纳米颗粒中出现部分氧化态的Pt原子,其原因可能是在高温下Pt纳米颗粒与A12O3薄膜之间发生了界面化学反应。
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