溶胶-凝胶法制备MoO_3陶瓷薄膜

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以用酸钠为原料,乙二醇为溶剂,用溶胶-凝胶法制备MoO3薄膜通过对干凝胶粉做DTA和TG分析,用SEM和XRD分析还胶膜、热处理后氧化物膜及多次重复浸涂热处理薄膜的显微结构和晶相组成,研究了氧化物薄膜的形成过程.重复4次浸涂热处理可得到约2μm厚连续致密的、主晶相为择优取向的斜方MoO3薄膜. Using sodium acid as raw material and ethylene glycol as solvent, the MoO3 thin films were prepared by sol-gel method. The DTA and TG analysis of the dry gel powders were carried out. SEM and XRD were also used to analyze the films, The microstructure and crystal phase composition of the sub-repeated heat-treated films were investigated. The formation of oxide films was studied. Repeated 4 immersion heat treatment can be obtained about 2μm thick continuous dense, the main crystal phase preferred orientation of the oblique MoO3 film.
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