【摘 要】
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据《Solidstate Technology》2003年第8期报道,比利时IMEC公司开发出一种新的低成本高Q值电感技术用于射频及微波集成电路。该技术的特点之一是其芯片层级封装利用铜金属化
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据《Solidstate Technology》2003年第8期报道,比利时IMEC公司开发出一种新的低成本高Q值电感技术用于射频及微波集成电路。该技术的特点之一是其芯片层级封装利用铜金属化和低介电薄膜做在5层金属后段工艺保护层上方,使Q值系数超过了30。
According to Solidstate Technology, Issue 8, 2003, IMEC, Belgium, has developed a new low-cost, high-Q inductor technology for RF and microwave integrated circuits. One of the features of this technology is its chip-scale packaging using copper metallization and low-dielectric films over the top of the 5-metal back-end process passivation, making the Q-factor exceed 30.
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