用喷涂法和溶胶—凝胶工艺制备PT/SnO2(Sb)/SiO2薄膜

来源 :湖北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenanji
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用喷涂法在石英玻璃衬底上制备Rs为100-200Ω/cm^2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(TP)。薄膜。TP膜为多晶,与SnO2(Sb)膜之间不存在界面反应。
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