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石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历史悠久，其制作、测量方式及后续电路等相关技术已相当成熟，因而使用广泛。...
石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析
【摘 要】
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石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1998年1期
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