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由沈阳富创精密设备有限公司承担的"十二五"国家科技重大专项"IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台"顺利通过验收。这标志着我国IC设备零部件在国产化进程中又迈出了重要一步,打破了该领域核心零部件长期依赖国外进口的被动局面,大幅度提升了我国IC设备制造产业链的整体竞争力。沈阳富创精密设备有限公司联合中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京美桥电子设备有限公司、